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        當前位置:首頁產品中心真空爐VHSmo-20/20/30-1700真空鉬棒爐

        VHSmo-20/20/30-1700真空鉬棒爐

        產品簡介

        VHSmo-20/20/30-1700真空鉬棒爐為氣體保護多用途爐,可滿足在還原氣體或成型氣體氣氛中對藍寶石退火,還原、燒結和表面處理等工藝需要,廣泛應用于航空航天、金屬材料、粉末冶金、陶瓷產品、半導體器件、厚膜電路、磁性材料等領域。

        產品型號:
        更新時間:2024-01-26
        廠商性質:生產廠家
        訪問量:227
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        VHSmo-20/20/30-1700真空鉬棒

        V2MO17技術方案書

        一、                      主要用途

        VHSmo-20/20/30-1700真空鉬棒爐為氣體保護多用途爐,可滿足在還原氣體或成型氣體氣氛中對藍寶石退火,還原、燒結和表面處理等工藝需要,廣泛應用于航空航天、金屬材料、粉末冶金、陶瓷產品、半導體器件、厚膜電路、磁性材料等領域。

        1.                      用于晶片的還原氣氛下保護燒結;

        2.                      用于一些難熔金屬在還原氣氛保護下燒結;                                                                

        3.                      用于在真空高溫環境中有蒸發的材料釬焊;

        4.                      用于粉末材料還原燒結成型;                                                                            

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        (設備圖示,以實際出貨產品為準)

        二、                      主要特點

        1.                      具備完善的報警功能,更的安全連鎖保護系統;                                            

        2.                      完善的氣氛控制系統,滿足各種工藝需要;      

        3.                      高性能優質電氣元件保證設備長期運行的穩定可靠性;                                          

        4.                      低負荷加熱器,可有效提高設備的使用壽命;

        三、                      設備型號

        本設備為臥式周期式真空氣氛爐,型號為VHSmo-20/20/30-1700V2MO17,其具體代碼含義如下圖所示。

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        四、                      主要技術參數

        1.       額定加熱功率:        9KW(以實際為)

        2.       最高溫度            1700(設計溫度)

        3.       長期工作溫度:        1600(驗收溫度)

        4.       加熱元件:                        鉬棒

        5.       控溫精度:                        充氣±2;穩定±1

        6.       爐膛尺寸       200×200×300mm(××)

        7.       工作壓力:                        0.1MPa

        8.       冷態極限真空度:        6.7X10-1Pa(空爐并經凈化)

        9.       測溫傳感器:                鎢錸熱電偶

        10.       冷卻方式            充氣自然冷卻

        11.       保護氣氛            氮氣或氬氣(可選配氫氣氮氣混合氣)等一路氣氛

        12.       氣氛壓力:                        0.02MPa(微正壓、表壓)

        13.       混氣系統:               1通道浮子流量計供氣系,浮子流量計0-10L/min

        14.       控制方式            /自動自由切換

        五、                      設備采用的標準

        設計和制造采用的主要標準如下:

        1.                      GB6654-1996 壓力容器的鋼性選用

        2.                      GB10067.1-88 電熱設備的基本技術條件

        3.                      GB5959.1-88 電熱設備的安全

        4.                      GB10066.1-88 電熱設備的試驗方法

        其它有關標準參照工業爐設計手冊。

        六、                      結構組成

        本設備由爐體、爐門、加熱與保溫系統、真空系統、氣路系統、冷卻系統、氣動系統、氫氣燃燒系統(可選配)、溫度及電氣控制系統、安全系統等組成。

        七、                      設備結構特征

        1.                      爐體

        爐體為雙層殼體臥式結構,內304不銹鋼,并經仔細的拋光,表面光滑,有利于縮短抽氣時間,且便于清潔。雙層殼體之間通水冷卻,確保爐壁溫度低于55。爐體及其接管內表面拋光后均經過嚴格的水壓及氣壓試驗,以確保焊縫質量而不發生滲漏,真空室經過嚴格的真空極限及真空漏率測試。

        爐體側部設有真空抽氣口、熱電偶測溫口、進出口、電極口等。爐體上壓頭的密封采用可靠的金屬波紋管密封。

        附屬品:        

        1)       真空接管

        2)       電極引入接管

        3)       熱電偶引入接管

        4)       真空測量及真空指示接管

        5)       冷卻水接管

        6)       爐腿

        2.                      

        爐門采用雙層水冷結構,內304不銹鋼經精密拋光處理,內外壁之間通水冷卻,爐門側部設有進出水口等。

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        3.                      加熱與保溫系統

        爐襯采用復合爐襯,內側耐火爐襯選用多孔氧化鋁砌筑,外層選用氧化鋁纖維板及硅酸鋁纖維棉組成復合保溫爐襯,合理的卡槽式拼裝結構,能有效保證爐膛的牢固性、溫度的損耗;合理的加熱器對輻射排布及功率的分布都有效的保證溫場的均勻度,此種結構保溫效果好,爐墻使用壽命長。

        加熱系統由電力控制器、電極、發熱體、熱電偶等組成。

        1)加熱功率及分布

        采用單區加熱控溫,安裝一支控制熱電偶,加熱爐的發熱體采用鉬棒,發熱元件均勻布置于爐膛兩側,有效的保證了溫場的均勻性提高加熱系統的可靠性,安全性。

        2)測溫裝置

        測溫元件采用鎢錸熱電偶配合溫度控制儀進行溫度閉環控制,測溫元件測量溫度并供給溫度控制器控制信號,從而調整功率調控器的輸出,從而控制變壓器的輸出大小,滿足系統的控溫需求。此外,在保溫屏外側,設有監測熱電偶,當系統超溫時,通過控制系統及時切斷加熱電源,確保設備安全。

        4.                      真空系統

        真空系統由直聯泵、擴散泵、氣動高真空閥、真空變送器、真空壓力表、真空放氣閥、真空管路等組成,并留有充氣接口。為減少爐體振動,真空管道與泵的連接采用金屬波紋管,真空真空變送器測量。

        真空閥門設掉電保護和安全聯鎖,如設備突然斷電,真空系統的各系統閥門自動調整為關閉狀態,保護真空室。

        所有真空管路均采用不銹鋼或碳鋼電鍍制造。管路連接處采用金屬波紋管連接,以隔絕直聯泵的震動,防止將震動傳遞至真空加熱室系統。

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        5.                      氣路系統

        氣體系統主要完成運氣、排氣等動作。氣路控制均采用安全電磁閥、手動針閥控制,采用電子式數顯壓力表,對爐膛壓力能時時監控,當到達壓力會自動關閉進氣管上的電磁閥,并進行報警,使用安全性更高。氣體系統增加故障時自動放氣和手動放氣的選擇功能,解決用戶特殊情況下的斷電排氣問題。

        集成式的氣路、電路控制面板,讓客戶操作更加方便;所有進氣口全部經過短暫預熱直接進入爐膛使用區域,以便保護氣氛能最快、全面的接觸工件(可以通氬氣、氮氣等惰性氣體);爐體后部有二路進氣口,右側有二路排氣口(排放氣體密度大于空氣密度的保護氣氛氣體、也可作為緊急時破除真空用接口)。

        本設備壓力系統由氣源裝置(氣瓶用戶自備)、閥門站、控制氣路、超高壓管路等組成。其作用是根據工藝要求,向工作缸提供高壓氣體。

        6.                      水冷系統

        系統由集成式進水組件(不銹鋼管)、集成式回水組件(不銹鋼管)、球閥、優質橡膠管及接頭等組成?;厮绞讲捎梅忾]式,在關鍵回路如電極上設置了水溫水流量傳感器,水溫過高或水流量不足時及時報警并停止加熱。

        進水主管路上設有電接點壓力表,當水壓不足時提供信號給控制系統,然后由控制系統判斷報警,啟動備用水源系統或切斷電源。設備的備用水裝置由客戶自備,備用水流5m3/h。

        水路特點:

        1)                      所有水路管道均采用耐高溫、高壓軟管材質,確保不生銹;其他輔助水路管道采用高壓防爆管道。確保水路安全;

        2)                      關鍵管路設置有水流量傳感器和水溫傳感器和報警裝置,水流量過低報警,水超溫報警,及時發現安全隱患。進水路欠水壓與加PLC互鎖,水壓低時,報警并停止加熱。

        3)                      使用方須做好備用水源UPS電源。主電路停電可立即切換UPS電源,給水泵供電,冷卻水源循環,確保爐體安全。

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        7.                      氫氣燃燒系統(可選配

        管路再增加單向閥、安全閥等安全裝置。

        氫氣燃燒裝置安全可靠,耗氫氣量小,燃燒充分,氫氣燃燒手動點燃,壓力閥門采用日本進口數字壓力閥,可控制爐管內壓力,超壓報警,超壓自動停止進氣,泄壓后自動供氣,確保爐內安全,性能更穩定。

        1)       管路設單向閥防止外部空氣回流入爐內;

        2)       并配氫氣燃燒裝置或直接排到室外。

        8.                      溫度及電氣控制系統

        電氣控制系統:全自動 PLC+觸摸屏系統,可以手動、自動切換。

        電源控制系統軟件介紹: 有以下特點:

        1)       源控制具有手動和自動兩種控制方式,手動和自動都可以在觸摸屏上控制,操作方便、系統穩定,具有誤操作提示報警功能。

        2)       溫控系統:全自動 PLC+觸摸屏系統,可以手動、自動切換,采用熱電偶和控溫儀表控制電源的輸出從而控制模具的溫度,觸摸電腦自動記錄燒結過程及歷史曲線。配備 PLC 控制器(西門/歐姆龍),具有 PID 及超溫報警功能,能儲存和輸出記錄,清晰反應爐子工作狀況。

        3)       控制系統軟件由我公司自行開發,人機界面操作系統,畫面友好,操作簡單,響應速度快,可對爐內工況進行實時監測,系統穩定可靠。

        4)       本設備可自動采集溫度曲線、真空度曲線和燒結時間等曲線,對各個工藝參數(溫度、真空度)實現動態顯示,方便用戶根據歷史曲線分析燒結工藝。

        5)       通訊接口豐富,如 RS485、LAN、USB 等,易于和其它設備 組網應用。軟件控制界面形象化,能夠動態顯示工作流程,方便直觀。

        6)       控制系統上設有過流、超溫及斷水等分類報警功能,電器元件采用施耐德、 LG等品牌,產品品質有保證。電控柜按照西門子標準制作,所有的儀表及控制元件集中到一個電控柜內。

        7)       軟件免費升級。

        溫度的控制也可通過數顯溫度程序控制儀根據用戶設定的工藝曲線,實行自動控制溫度,并具PID自整定功能,也可根據用戶需要手動控制溫度。

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        八、                      安全保護系統

        1.                      電氣聯鎖保護系統;

        2.                      保險絲;

        3.                      電熱過電流保護裝置。

        九、                      整機要求

        1.                      電力需求     220/380V,三相五線制,12KVA,50Hz

        2.                      起重設備     1.2

        3.                      壓縮空氣氣源

        1)                      耗量     ~3L/s

        2)                      壓力     0.6Mpa

        4.                      水源:

        1)                      耗量      10m3/h

        2)                      水壓      0.15~0.3Mpa

        3)                      進水水溫 25

        4)                      水質      PH7.08.5,懸浮物固體100mg/L,總硬CaO10mg/L,溶解性固體30mg/L,電導率500μS/cm;及總排水管與設備的連接管路和閥門;

        十、                      安裝、調試及驗收

        1.                      甲方負責地基、氣源、乙方電控柜的總線輸入端之前的進線電纜。在所有準備工作完成后,通知乙方進行安裝、調試。設備以賣方組織,買方配合的方式在買方現場安裝、調試并達到買方正常使用的要求;

        2.                      驗收工作完成后,由雙方共同簽署設備最終驗收報告。

        十一、                      培訓

        1.                      設備安裝調試過程中,賣方同時對買方設備使用人員進行必要的操作和維護保養的培訓。經培訓,用戶技術人員能夠達到獨立正確操作設備并能判斷故障及簡單維修。

        2.                      培訓計劃和內容:

        序號

        培訓計劃

        培訓時間(天)

        培訓人員

        地點

        1

        操作培訓

        1

        工程1

        驗收現場

        2

        維護保養培訓

        驗收現場

        3

        故障判斷及簡單維修培訓

        驗收現場







        十二、                      保固期

        機器全系統保固壹年。

        十三、                      售后

        保固期內,若設備發生故障(易損件除外),我公司2小時內給予回復,并72小時內派員到達現場,組織維修。

        長期優惠提供備品備件。

        十四、                      隨機資料

        1.                      操作說明書。

        2.                      出廠檢驗報告。

        3.                      安裝調試必需的圖紙。

        十五、                      客戶選配配件

        1.                      冷水HCA-10      1

        2.                      水路管道及法蘭   1

        3.                      空壓HA-1        1

        4.                      分子泵/DM/OD1

        編號

        產品型號

        爐膛尺寸(mm)

        加熱功率(kw)

        真空度(Pa)

        最高溫度()

        加熱元件

        適用工藝

        外形尺寸(mm)

        V2GR20

        VHSgr-20/20/30-2000

        200x200x300

        45

        6.7X10-3

        2000

        石墨電阻

        燒結/退火/脫脂/氫氣

        1560×1690×1850

        V2GR23

        VHSgr-20/20/30-2300

        200x200x300

        50

        6.7X10-3

        2300

        石墨電阻

        燒結/退火/脫脂/氫氣

        1560×1690×1850

        V2MO13

        VHSmo-20/20/30-1300

        200x200x300

        40

        6.7X10-3

        1300

        鉬帶電阻

        燒結/退火/釬焊/脫脂/氫氣/脫氣

        1560×1690×1850

        V2MO16

        VHSmo-20/20/30-1600

        200x200x300

        45

        6.7X10-3

        1600

        鉬帶電阻

        燒結/退火/釬焊/脫脂/氫氣/脫氣

        1560×1690×1850

        V2W20

        VHSw-20/20/30-2000

        200x200x300

        45

        6.7X10-3

        2000

        鎢帶電阻

        燒結/退火/釬焊/脫脂/氫氣

        1560×1690×1850

        V2W23

        VHSw-20/20/30-2300

        200x200x300

        50

        6.7X10-3

        2300

        鎢帶電阻

        燒結/退火/釬焊/脫脂/氫氣

        1560×1690×1850

        V2CO20

        VHSco-20/20-2000

        Φ200X200

        45

        6.7X10-3

        2000

        感應線圈

        燒結/退火

        1560×1690×1850

        不含電源尺寸

        V2CO23

        VHSco-20/20-2300

        Φ200X200

        50

        6.7X10-3

        2300

        感應線圈

        燒結/退火

        1560×1690×1850

        不含電源尺寸

        V2MS17

        VHSms-20/20/30-1700

        200x200x300

        12

        6.7X10-2

        1700

        硅鉬棒電阻

        氧化/燒結/退火

        1560×1690×1850

        V2MO17

        VHSmo-20/20/30-1700

        200x200x300

        12

        6.7X10-2

        1700

        鉬棒電阻

        還原/燒結/退火

        1560×1690×1850





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